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MKS MultiGas 6030傅里叶变换红外气体分析仪是以傅里叶变换红外为基础的多气体光谱分析仪。
便携式傅里叶红外气体分析仪广泛用于半导体生产工艺控制和监控,气体纯度和组成分析,环境有毒有害气体监视和工业尾气监视。 MultiGas 6030傅利叶变换红外光谱分析仪能分析含有高达40%水的气流,能同时分析和显示多达30种气体。分析仪储存了校准光谱,故出了气体筒的成本。另外,操作者也会发现MultiGas 6030傅利叶变换红外光谱分析仪操作简便,易于维护。
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